Zdjęcie w tle
Nauka

Społeczność

Nauka

1k+

Społeczność dla wszystkich zainteresowanych nauką, jej zdobyczami, rozwojem, sukcesami i porażkami. Dla głodnych wiedzy i sprawdzonych informacji!

Jak działa fotolitografia EUV.

Czyli jak powstają nowoczesne CPU, GPU i wszelkiej maści inne krzemowe twory.


Fragmenty:

32:30 - 32:55

oraz

34:20 - 35:00


Czy ja rozumiem że ten wózek zasuwający w osiach X, Y zapewnia stabilność położenia wafla do kilku nm?

Te kilka nm to dokładność do około 15 atomów ಠ_ಠ


ps. Pokazano proces "wypalania" jednej warstwy, warstw jest kilkadziesiąt, czasami ponad sto.


Fotolitografia EUV

Branch Education

https://youtu.be/B2482h_TNwg


#nauka #technologia

pacjent44

@Marchew yhm i to jest ta granica wielkości układów. Co tam obecnie w prockach mamy, siedem nano?

Marchew

@pacjent44 Obecnie TSMC na sprzęcie holenderskiego ASML zaczyna produkcję 2 nm : )

7 nm to klepał intel swoje 13 i 14 gen procków w swoich amerykańskich fabrykach.

Obecnie 15gen i mobilne klepią na Tajwanie u TSMC.

Chociaż 16gen zapowiadane na 2026 mają robić już u siebie w 1,8 nm.

WujekAlien

@pacjent44 jabłkowe M5 jest na 3nm, AMD robi 4nm, a Intel napierdala 7nm z jakimiś plusami

KierownikW10

@Marchew nie nazwałbym tego wózkiem a bardziej stołem.

Jak jest uzyskiwana wymagana dokładność? Za cholerę nie wiem i nie jestem w stanie sobie tego wyobrazić. W życiu miałem styczność wyłącznie z maszynami, gdzie dokładność pozycjonowania to było 0.0001 mm, a I to było zawsze w jakiś sposób naciągane, bo i jak to zmierzyć i sprawdzić, tak żeby pomiar był wiarygodny.

I właśnie dlatego ASML nie ma konkurencji. Nikt nie potrafi wyprodukować tak za⁎⁎⁎⁎ście dokładnych maszyn.

Marchew

@KierownikW10 To już 100 nm : )

KierownikW10

@Marchew no to pomiędzy 100 nm a 1 nm jest ogromna przepaść. A i 100 nm jest ogromnym osiągnięciem i wymaga chłodzenia korpusu.

KierownikW10

@Marchew temat mnie zaciekawił i pozwoliłem sobie zapytać AI o to. Wydaje mi się, że odpowiedź ma sens.

Świetne pytanie — i bardzo trafne, bo dokładność pozycjonowania w maszynach ASML to absolutny cud współczesnej inżynierii. Mówimy o dokładności rzędu pojedynczych nanometrów, czyli kontrola pozycji z precyzją mniejszą niż średnica atomu krzemu (!).Rozbijmy to krok po kroku: 🔧 1. Fundament: system mechatroniczny o ekstremalnej sztywności i izolacji Podstawą jest stół pozycjonujący wafer (wafer stage) i stół maski (reticle stage). Każdy z nich: porusza się bez kontaktu mechanicznego – unosi go poduszka powietrzna lub magnetyczna (tzw. magnetic levitation), znajduje się na granicie o masie kilku ton, który jest izolowany od drgań nawet od ruchu ulicznego kilometr dalej, cały układ działa w komorze próżniowej, bez turbulencji powietrza i bez wahań temperatury (stabilność na poziomie ±0,01°C).

⚙️ 2. Napęd i sterowanie ruchem Zamiast silników krokowych czy śrub pociągowych, ASML stosuje silniki liniowe: Działają na zasadzie cewek elektromagnetycznych i magnesów trwałych, Generują ruch bez żadnego kontaktu, a więc bez tarcia i luzu, Potrafią rozpędzać stół z przyspieszeniami do kilku g, zatrzymując go w pozycji z dokładnością 1–2 nm. Ruch kontrolują interferometry laserowe o rozdzielczości poniżej 0,1 nm — one śledzą pozycję w czasie rzeczywistym. 🧠 3. System pomiarowy i kontrola pętli sprzężenia zwrotnego Każdy ruch jest mierzony tysiące razy na sekundę przez interferometry. ASML wykorzystuje pętle sterowania z bardzo wysokim wzmocnieniem, które: kompensują błędy termiczne, drgania i minimalne odkształcenia, wykorzystują model fizyczny całego układu (z uwzględnieniem mikrodrgań i sprężystości konstrukcji), często działają na procesorach czasu rzeczywistego o opóźnieniu poniżej 1 μs. Dzięki temu system potrafi „wyprzedzać” ruch i korygować go zanim błąd zdąży się rozwinąć. 🌡️ 4. Kompensacja termiczna i materiałowa Każdy element maszyny: jest zbudowany z materiałów o ultraniskim współczynniku rozszerzalności cieplnej (np. zerodur, invar), ma wbudowane czujniki temperatury i system chłodzenia cieczą, pozycjonowanie jest ciągle korygowane o mikroskopijne zmiany wymiarów spowodowane ciepłem lasera i elektroniki.

🪞 5. Korekcja optyczna i oprogramowanie Pozycjonowanie to nie tylko ruch fizyczny — maszyna musi jeszcze „wiedzieć”, gdzie pada światło. Dlatego: używa układów optycznych z aktywną kompensacją błędów aberracji, system mapuje deformacje maski i wafla (bo one też się lekko wyginają), a oprogramowanie nanosi cyfrowe korekty wzoru (tzw. computational lithography), aby kompensować wszelkie odchylenia.

🪄 6. Synchronizacja stołu maski i wafla To najtrudniejszy element: obraz z maski musi być nałożony na wafel z dokładnością <1 nm. ASML rozwiązuje to przez: podwójny układ interferometryczny, który śledzi oba stoły, synchronizację optyczną (czasem z użyciem laserów femtosekundowych), mikrokorekcje w locie, nawet w trakcie ruchu.

🚀 Efekt Dokładność overlay (nakładania kolejnych warstw): ~1–2 nm. Dokładność pozycjonowania stołu: <0,5 nm RMS. Czas pełnego naświetlenia wafla 300 mm: ok. 1 sekunda (!). Jeśli chcesz, mogę pokazać schemat działania układu pozycjonowania (z nanometrową kontrolą interferometru i systemem aktywnej kompensacji) w formie obrazka — chcesz, żebym go wygenerował?

Marchew

@KierownikW10 Przecież to jakieś voodoo xD

No i są też błędy, "naświetlania wafla 300mm ok 1 sekundy". To raczej naświetlenie jednego układu, tzn, jedno przejście maski. Cały wafel to znacznie więcej, zależnie od powierzchni układu.

KierownikW10

@Marchew no są błędy, ale całość wygląda sensownie.

Zaloguj się aby komentować

Widzieliście kiedyś na żywo prawdziwą naukową dyskusję?


Ja miałam okazję wczoraj w jednej uczestniczyć. Przygotowałam prezentację o metylacji DNA (trudne zagadnienie), produkowałam się pół godziny, ale dobrze poszło. Ostatni slajd, na nim ”dziękuję za uwagę”, mówię:

- Dziękuję za uwagę. Czy ktoś ma jakieś pytania albo komentarze?


Atmosfera na sali trochę się rozluźniła. Głos zabrał doktor habilitowany Karwiński:

- Z całym szacunkiem, według mnie pani prezentacja zawierała szereg błędów. Po pierwsze, metylacja DNA...


Zaczęło się. Czułam się, jakbym schodziła po schodach i nie trafił w stopień. Serce zamarło, po czym przyspieszyło do stu dwudziestu na minutę. Karwiński po kolei punktował wszystkie słabostki mojego wystąpienia:

- ...mam wrażenie, że przeczytała pani jedynie przeglądówki sprzed piętnastu lat, a i to pobieżnie. Czy pani w ogóle odróżnia metylację DNA od metylacji histonów?


- Panie docencie... ja... ja... - dukałam nieporadnie. To koniec. Obrona nie była możliwa. Cały mój wysiłek poszedł na marne, słońce zaszło za chmurami, a z nim nadzieja na zaliczenie seminarium. Zawiodłam i przegrałam.

Niespodziewanie inicjatywę przejął mój promotor, profesor Bujewicz.

- Szanowni państwo - zwrócił się do zebranych - z całą pewnością wszyscy słyszeliśmy żałosne wywody docenta Karwińskiego. Jakże jednak mamy traktować je poważnie, skoro pan docent, jak powszechnie wiadomo, ma małą i giętką pałę oraz onanizuje się do zdjęć męskich stóp w sandałach?

Szmer uznania przetoczył się przez audytorium. Ludzie kiwali głowami, przychylając się do słów profesora.

- Panie profesorze - oburzył się Karwiński - Co to do cholery znaczy? Co ma długość mojego członka do metylacji DNA? Co ma do tego moja miłość do sandałów? Pan obraża naukową dyskusję!

- Sam pan ją obraża swoją paskudną mordą, docencie Karwiński. - Pytał pan jeszcze, co ma długość pańskiego fistaszka, którego szumnie określił pan nazwą członka, do metylacji DNA? Ano to, że tankował pan wódkę z przemytu, zmetylowało panu k⁎⁎⁎sa i jego rozwój zatrzymał się na trzech centymetrach.

Widownia wybuchła śmiechem. Z osłupieniem obserwowałam tę scenę. Karwiński poczerwieniał jak burak, Bujewicz zaś, bez zażenowania, wyciągnął cygaro, zapalił je i zaciągnął się z satysfakcją. Ktoś z sali krzyknął

- Brawo profesor Bujewicz!

- Kto wpuścił tego debila na salę? Wy⁎⁎⁎⁎⁎olić Karwińskiego!

- Wy⁎⁎⁎⁎⁎olić!

Docent poczerwieniał jeszcze bardziej, podszedł do Bujewicza i warczącym głosem zaczął mu dogryzać:

- Że niby ja mam jakieś braki? A co z panem, profesorze, co? Bujewicz-bezchujewicz! Stary impotent, bez viagry to nawet myśleć o ruchaniu nie może! Spójrzcie na niego, jakie cygaro wyciągnął, pewnie kompleksy ma! Lubi pan brać długie, grube rzeczy do gęby, co nie?

Profesor Bujewicz zaciągnął się cygarem, wypuścił dym prosto w twarz adwersarza.

- Chyba pana stary, docencie. Pani magistro, proszę pocisnąć torpedę docentowi Kurwińskiemu. - zwrócił się do mnie.

Rozgorączkowana publiczność pokazywała nas sobie z zaciekawieniem palcami.

Karwiński był już skompromitowany, a do mnie należało jego ostateczne dobicie. Widownia oczekiwała świetnej wiązanki, mój promotor patrzył na mnie z nadzieją,

Karwiński zaś próbował zamordować mnie wzrokiem. Wyprostowałam się, spojrzałam mu prosto w oczy i wyrzekłem.

- Pytał się pan, docencie Kurwiński, co wiem o metylacji. Wiem, k⁎⁎wa, wszystko. I c⁎⁎j pana obchodzi, z jakich źródeł korzystałam, bo i tak pewnie czytać pan nie potrafi. Jeśli moje wywody o metylacji DNA się panu nie podobały, to może mnie pan w d⁎⁎ę pocałować. Albo w wała possać, tak jak pan lubi!

Docent skrzywił się nieprzyjemnie, wycelował oskarżycielsko palcem.

- Merytorycznie pani praca leży i kwiczy, to dno plus metr mułu, gówno psie i wie pani co?

- Co? - odparłam odruchowo. Błąd.

- Chujów sto!

Audytorium zaśmiało się. Dałam się zrobić jak dziecko. Karwiński uśmiechnął się triumfalnie, pewien zwycięstwa. Profesor niewzruszony palił swoje cygaro. Kiwnął przyzwalająco głową. Zripostowałam.

- W pana d⁎⁎ę, docencie Kurwiński! Tak, jak pan lubi!

Zerwała się owacja. Karwiński starał się coś odeprzeć, coś dodać, bronić, się, atakować, ale lud nie dał dojść mu do słowa.

- Wypierdalaj! Wypierdalaj! WY-PIER-DALAJ!

- C⁎⁎j ci na imię! Kurwiński, c⁎⁎j ci na imię! C⁎⁎j ci na imię! - skandowali.

Biedny docent nie miał gdzie się schować. Usiadł na swoim miejscu, skurczył się w sobie i (choć wydaje się to niemożliwe) poczerwieniał jeszcze bardziej. Zasłonił twarz rękami. Nie wierzę. Triumfowałam. Wygrałam naukową dyskusję.

- Czy ktoś ma jeszcze jakieś pytania lub komentarze? Dla odmiany sensowne.

- Tak - podjął jeden z kolegów na sali - czy metylacja w obrębie intronów też może mieć znaczenie na skuteczność transkrypcji genów?

Uśmiechnęłam się. Z sali zaczęły padać coraz to nowe pytania, ja zaś odpowiadałam na nie zgodnie z moją wiedzą. Profesor Bujewicz dopalił cygaro i pokiwał głową z uznaniem.

nie moje, #zajebanezfacebooka #heheszki

jelonek

@GazelkaFarelka pyszna pasta cumplu.

Yes_Man

@GazelkaFarelka Co tutaj się

GazelkaFarelka

@Yes_Man Błagam powiedz że chociaż jedna osoba się nabrała chociaż przez pierwsze dwa zdania, że to kolejny poważny wpis na jakiś temat naukowy

Yes_Man

@GazelkaFarelka no kurde ja bo nie znałem tej pasty xD

Zaloguj się aby komentować

TFR na świecie po raz kolejny, ale teraz w nieco innej formie.

Bardzo brakuje danych z Afryki.

#demografia #psychologia #nauka #socjologia #spoleczenstwo #dzietnosc

e512e03e-3001-4a2f-a241-f02410898f5b
fisti

TFR (Total Fertility Rate) - współczynnik dzietności

Zaloguj się aby komentować

ZohanTSW

Orka tak piękna że aż satysfakcjonująca

jan-marian-waleczny

Myślałem, że 5g już wyszło z mody i foliarzy😉

radziol

@razALgul mikrofale i 26 GHz, widać niewidzialne czerwone, ale jednak niewidoczne światło xD

MalyDiabel

@radziol czerwone, ale przezroczyste!

Zaloguj się aby komentować

Kolejna aktualizacja (lipiec 2025) dobrze znanego wykresu ( ͡° ͜ʖ ͡°)

źródło:

RafalMundry na twiXer.

#demografia #psychologia #nauka #socjologia #spoleczenstwo #dzietnosc

085b2f4d-5313-4a39-9cd4-f695e32bbf10
Iknifeburncat

@Marchew grunt, że lewaków piecze d⁎⁎a i Pan Inwestor może kupić więcej betonu mieszkalnego.

mtriciak33

@Iknifeburncat to jest dopiero magia, ludzi w Polsce coraz mniej za to mieszkań ciągle brakuje, nieprawdopodobne xD

Iknifeburncat

@mtriciak33 na pewno brakuje tych, które są jakkolwiek osiągalne cenowo dla przeciętnego obywatela w pozostałej grupie 99% najgorzej zarabiających, ale w Polsce nie takie czary już widzieliśmy ( ͡° ͜ʖ ͡°)

Boski

Neofeudalizm zbiera swoje żniwo.

PrezesKlubuTecza

@boogie zgaduję że po prostu mamy starzejące się społeczeństwo i przez to liczba zgonów rośnie

Zaloguj się aby komentować

IG Nobel 2025


Literatura: za dokumentowanie i analizę wzrostu własnych paznokci na przestrzeni 35 lat

Psychologia: za zbadanie, co się dzieje, kiedy mówi się narcyzom, że są inteligentni

Żywienie: za zbadanie, dlaczego jaszczurki w Togo preferują konkretne rodzaje pizzy

Pediatria: wpływ jedzenia przez matki czosnku na ich niemowlaki

Biologia: krowy pomalowane w paski są rzadziej kąszone przez bąki

Chemia: jedzenie telfonu jako niekalorycznego wypełniacza

Pokojowa: za wykazanie, że picie alkoholu poprawia mówienie w obcych językach

Inzyniera: wpływ śmierdzących butów na doświadczenie używania stojaka do butów

Awiacja: tutaj natomiast alkohol pogarsza zdolności lotnicze i echolokację u nietoperzy


(nazwiska zwycięzców pominąłem, bo i tak nikogo to nie obchodzi)


Źródło: https://improbable.com/ig/winners/
Ceremonia: https://www.youtube.com/watch?v=z1cP4xKd_L4


#ignobel #nauka

Zaloguj się aby komentować

ataxbras

@razALgul No w końcu, ciągle te Noble, Miłosz, Skłodowska, miła odmiana, bo tamte stały się nudne

malkontenthejterzyna

Wykazanie, że spożycie alkoholu ułatwia mówienie w języku obcym

Tożto żadne odkrycie.

dolitd

Crazy Nauka używa ChatGPT do generowania treści, lol.

Zaloguj się aby komentować